Rasterelektronenmikroskopie

Rasterelektronenmikroskopie (REM)

Analyt:         

  • organische und anorganische Materialien, Komposite, Halbleiter, pulverförmige/kompakte Proben, Dünnschichtstrukturen
  • Probenanforderung: feste und nicht flüchtige Proben, max. Probengröße: bis ca. 10 cm Ø, Höhe ca. 5 cm, Gewicht ca. 0,5 kg
  • benötigte Probenmenge: wenige mg

 

Zielgrößen/Anwendungen:

  • hochauflösende Strukturabbildung mit einer lateralen Auflösung kleiner 10 nm von z. B. hartmagnetischen Materialien, Halbleitern
  • Untersuchungen der Morphologie an Bruchkanten, Querschnittsflächen und Oberflächen
  • Bestimmung der Elementzusammensetzung von Nano-, Mikro- und Makrostrukturen
  • Phasenidentifikation- und –quantifizierung (Punkt-, Linien- und Flächenanalyse)
  • digitalisierte Bildaufnahme  (bis 6144*4608 Bildpunkte) und Bildanalyse – Bestimmung von Partikelgrößen und Schichtdicken im Querschliff
  • Untersuchungen von elektrisch isolierenden Proben möglich

 

Technische Ausstattung: 

Merlin (Fa. Carl Zeiss) mit Gemini-2 Elektronenoptik

  • hochauflösende Detektoren für Topographie (SE, InLens) und Phasenkontrast (AsB, EsB)
  • Vergrößerungsbereich: 20 – 2.000.000-fach
  • kontinuierlich durchstimmbarer Strahlstrom von 20 pA – 40 nA
  • Schleuse für Transfermodul: Transfer von ionengeböschten Proben unter Sauerstoffausschluss, Cryo-Option
  • chemische Analytik: energiedispersive (EDS, Fa. Oxford X-Max 80) und wellenlängendispersive (WDS, Fa. Oxford INCA WAVE 500) Röntgenspektroskopie
  • Charge Compensator unterdrück Aufladungseffekte bei schlecht leitenden Materialien (keine elektrisch leitende Schicht notwendig)
  • Plasma cleaner zur Reinigung der Probenoberfläche