Analytik

Mikroskopie

Ionen-Feinstrahl-Mikroskopie (FIB)

Analyt:         

  • organische und anorganische Materialien, Komposite, Halbleiter, pulverförmige/kompakte Proben, Dünnschichtstrukturen
  • Probenanforderung: feste und nicht flüchtige Proben, max. Probengröße: bis ca. 10 cm Ø, Höhe ca. 5 cm, Gewicht ca. 0,5 kg
  • benötigte Probenmenge: wenige mg

 

Zielgrößen/Anwendungen:

  • Zielpräparation: Querschnitte, TEM-Lamellen, Spitzen für Atomsondentomographie (APT)
  • Querschnittspräparation zur Charakterisierung von Defekten in Dünnschichtsystemen (Halbleitern)
  • Phasenidentifikation- und –quantifizierung (Punkt-, Linien- und Flächenanalyse)
  • Kombination aus FIB, REM, EDS und EBSD ermöglicht 3-dimensionale Darstellung der Mikrostruktur

 

Technische Ausstattung:     
XB540 (Fa. Carl Zeiss) mit Gemini-2 Elektronenoptik

  • hochauflösende Ionenquelle Capella
  • 2 GIS-Systeme zum Auftragen von Pt- und C-Schichten
  • hochauflösende Detektoren für Topographie (InLens, SESI) und Phasenkontrast (EsB)
  • STEM Detektor für Untersuchungen von TEM-Lamellen im Transmissionsmode
  • chemische Analytik: energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS, Fa. Oxford X-Max 80)
  • Bestimmung der Kristallorientierungen mittels Elektronenrückstreubeugung (EBSD, Fa. Oxford Nordlys)
  • simultane EDS- und EBSD-Untersuchungen mit 3D-Option
  • Mikromanipulator (Omniprobe (Fa. Oxford)) zur Herstellung von TEM-Lamellen
  • Charge Compensator unterdrückt Aufladungseffekte bei schlecht leitenden Materialien (keine elektrisch leitende Schicht notwendig)
  • Plasma cleaner zur Reinigung der Probenoberfläche