3D Atomsondentomographie

3D Atomsondentomographie (3D-APT)

Analyt:         

  • organische und anorganische Materialien, Komposite, Halbleiter, pulverförmige/kompakte Proben, Dünnschichtstrukturen
  • Probenanforderung: feste und nicht flüchtige Proben,
  • benötigte Probenmenge: wenige mg

 

Zielgrößen/Anwendungen:

  • 3-dimensionale Untersuchung der chemischen Zusammensetzung im atomaren und nanoskaligen Bereich
  • Korngrenzenuntersuchungen (z. B. Nd2Fe14B-Magnete)
  • Untersuchungen von Diffusionsprofilen in Leitern und Halbleitern
  • elementspezifische Mikrostrukturanalyse mit atomarer Auflösung
  • chemische Charakterisierung nanoskaliger Strukturen
  • Nachweisgrenze ~ 5 ppm  (abhängig von der Größe der Probe)

 

Technische Ausstattung:

LEAP 4000X HR (Fa. CAMECA)

  • Probenpräparation durch FIB lift-out (ZEISS Crossbeam 540)
  • Laser Desorption zur Analyse nicht bzw. schlecht leitfähiger Materialien (355 nm Wellenlänge, <10 ps Pulsdauer)
  • Hohe Massenauflösung durch Reflektron